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Axis

  • 单次脉冲能量高达4.5毫焦
  • FemtoTrig®脉冲随需应变
  • 更高吞吐量,搭载GHz Burst®技术

最大吞吐量,毫不妥协的工艺控制

AXIS是一款专为工业微加工领域设计的高功率飞秒激光放大器,在该领域光束稳定性、可重复性和运行时间至关重要。凭借高达120 W的平均功率,AXIS提供先进功能与工艺灵活性,仅通过提升扫描速度和重复频率即可实现全新水平的吞吐量。

AXIS专为全天候工业运行设计,具备强大的放大器冷却系统、卓越的温度稳定性,以及高水平的电磁兼容性与辐射抗扰度。其特别适用于高吞吐量应用,包括多光束加工和先进显示器制造,可提供高达45W的紫外输出功率1.2MHz的重复频率,并支持深紫外兼容配置

对于基于Satsuma X多功能性开发工艺的客户,AXIS是自然的升级选择:在保持相同工艺工具箱的基础上,通过更高平均功率实现突破性设备生产力提升,且无需改变现有工艺流程。

可用选项

 

FemtoTrig

    • 使用内部脉冲选择器进行脉冲对脉冲控制(高精度)
    • 两个脉冲之间的频率可调
    • 基本抖动:减少电子延迟和定时抖动

GHz

    • 多步互动过程:热孵化和动态效率
    • 最佳突发持续时间:提高工业应用效率

FemtoBurst

    • 精确塑形,实现最佳能量分布。
    • 用于精确控制的模拟射频驱动器和函数发生器。

SHG

    • 通过非线性光学技术将激光频率提高一倍
    • 提高飞秒激光的成像精度和材料处理能力

THG

    • 三倍激光频率,适用于高级应用。
    • 革新飞秒激光的成像和材料加工精度。
规格Axis 120
平均功率120 W
每脉冲能量500 µJ
脉冲持续时间< 500 fs
重复率Tunable up to 40 MHz
椭圆度<13%
波长1030 nm +/- 3 nm
M2< 1.2
指向稳定性< 20 µrad /°C
激光头680 x 555 x 182 mm

与其他产品比较

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产品
波长
频谱带宽
能量
平均功率
脉冲宽度
重复率
Satsuma X-28
1030 nm +/- 2nm
< 3 nm
> 280 µJ
> 28 W
500 fs to10 ps
Single shot to 40 MHz
Satsuma X-50
1030 nm +/- 2nm
< 3 nm
> 500 µJ
> 50 W
500 fs to10 ps
Single shot to 40 MHz
Tangor 100 IR
1030 nm +/- 5nm
< 3 nm
> 500 µJ / Up to 700 µJ
> 100 W
< 500 fs to 10 ps
Single shot to 40 MHz
Tangor 100 Green
515 nm +/- 2,5 nm
< 1 nm
> 250 µJ
> 50 W
< 500 fs to 5 ps
Single shot to 40 MHz
Tangor 100 UV
343 nm +/- 1,7 nm
< 0,5 nm
> 150 µJ
> 30 W
< 500 fs to 2 ps
Single shot to 40 MHz

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